• 您的位置: 網站首頁 >> 產品中心 >> 隔振平臺 >> 隔振系統 > Stage-base主動消振隔振系統
    產品名稱:

    主動消振隔振系統

    發布日期: 2023-10-16
    訪問量: 612
    主動消振隔振系統,使用壓電致動器和串行式架構中的剛性懸架實現了**的消振。這實現了始于0.6 Hz的業內**地面隔振,響應于平臺力的初始偏轉明顯更小。
    • 詳細內容

    主動消振隔振系統

    TMC繼續在先進技術的基礎上開發新的解決方案,以滿足半導體工具對其隔振系統提出的挑戰性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的**半導體工具而設計的主動消振系統。這些工具不但需要極其有效的消振性能,它們還要求由平臺引起的有效載荷運動能夠非??焖俚胤€定,以**限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM,可以縮短穩定時間,進一步提高吞吐量,從而為移動平臺應用提供**先進的主動振動和運動消除系統。

    主動消振系統Stage-base(圖1)

    Stage-Base 450優勢

    Stage-Base 450采用了下一代主動硬安裝壓電消振集成音圈技術。只有TMC可以提供這種**低頻消振串行型技術,通過使用音圈電機(VCM),實現了主動移動平臺運動消除。

    Stage-Base 450下一代主動控制系統采用TMC的STACIS技術。使用壓電致動器和串行式架構中的剛性懸架實現了**的消振。這實現了始于0.6 Hz的業內**地面隔振,響應于平臺力的初始偏轉明顯更小。

    規格

    ? 采用STACIS®技術

    ? 采用高力、加長行程的壓電致動器

    ? 有效載荷的位置可重復性在微米以內

    ? 框架安裝設計

    ? 6個主動自由度

    ? 可選的VCM前饋和/或反饋

    ? 始于0.6 Hz的主動隔振

    ? 響應平臺運動的快速穩定時間

    ? 無軟空氣懸架

    ? 通過USB 2.0實現基于PC的圖形用戶界面(GUI)的高速數字控制器

    ? 簡單、堅固且經濟高效

    性能

    主動消振系統Stage-base(圖2)主動消振系統Stage-base(圖3)

    主動消振隔振系統 應用照片

    主動消振系統Stage-base(圖4)主動消振系統Stage-base(圖5)

    留言框

    • 產品:

    • 您的單位:

    • 您的姓名:

    • 聯系電話:

    • 常用郵箱:

    • 省份:

    • 詳細地址:

    • 補充說明:

    • 驗證碼:

      請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
    Copyright ?2024 上海倍藍光電科技有限公司 ICP備案號:滬ICP備19036474號-2
    • 掃一掃,關注我們

    激情人妻另类人妻伦,日韩高清的天堂在线观看免费,日韩伦理福利免费,欧美午夜免费看爽爽爽